肖特打造立體式布局,全方位助推光刻行業發展

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每天睜開眼,我們就開啟了與這個信息時代打交道的生活。從微波爐到洗衣機,從電動車到汽車,從手機到電腦,以芯片為基礎的各種電子產品充斥著生活的方方面面。

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然而2020年一場席卷全球的芯片短缺危機,導致汽車、手機、PC顯卡等行業芯片嚴重供不應求,芯片價格也隨之上漲。部分企業甚至短暫停工,危機感迎面而來。

在中國,“十四五”規劃將第三代半導體材料等視為重中之重,國家將在教育、科研、開發、融資、應用等方面,大力支持發展第三代半導體產業,解決半導體產業鏈關鍵環節“卡脖子”問題,以期實現產業快速發展。

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背靠政策支撐,中國對于制造芯片的母機 —— 光刻機的需求也逐漸擴大。根據中國海關步進式光刻機進口情況顯示, 2020年盡管新冠疫情爆發給各行各業造成一定影響,但我國步進式光刻機市場增長依然明顯。

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2019、2020年1-12月步進式光刻機進口量逐月數據圖(單位:臺)

(數據來源:中國海關、三勝咨詢)

 

助力光刻,肖特三箭齊發

德國積極響應中國發展第三代半導體行業號召,通過從產品到解決方案的立體式布局,全力助推中國光刻行業發展,提供:

1. 基于玻璃光纖的光傳輸解決方案

2. 用于結構部件的零度?微晶玻璃

3. 具有365納米紫外線高透射率的i-line玻璃

 

1. 基于玻璃光纖的光傳輸解決方案

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光刻系統的關鍵特性在于針對鏡頭將晶圓進行快速、精確和可重復的定位,而肖特柔性導光束則是實現精確定位的理想選擇。穩定、可靠、精準,是肖特打造柔性導光束非凡口碑的配方。

穩定方能取勝

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肖特光導提供了高質量的光學參數組合,實現了高度穩定的光質量和強度,從而能夠幫助客戶提高產量。

可靠打造效率

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肖特的光導管具有良好的機械性能和化學性能,易于集成到系統中,并且具有很長的使用壽命。能夠有效降低客戶使用時的故障率,從而提供生產效率。

精確成就口碑

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FMEA過程分析確保生產過程穩定,肖特會跟蹤所有相關的生產參數以實現可溯性和透明性,此外具有豐富經驗的工程師也能確保提供極高的精度。

2. 肖特零度?(SCHOTT ZERODUR?)微晶玻璃

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肖特零度?是一種低熱膨脹微晶玻璃,常常被用于光刻機等對精度有著極為苛刻的要求的應用當中。

挑戰嚴苛

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肖特零度?(SCHOTT ZERODUR?)微晶玻璃有著接近于零的熱膨脹率,能夠減少材料在幾何形狀和大小方面的變化,實現0±7ppb/K的精度。并且肖特零度?微晶玻璃可根據客戶實際的工作點(溫度)對熱膨脹曲線進行調整。

放開想象

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復雜、輕質的零度?微晶玻璃零件

零度?微晶玻璃具有著非凡的可加工性能,可以根據客戶的需求,通過CNC磨削加工成各種尺寸和形狀,也可通過光刻實現精細結構的圖案化,涵蓋從i-line到KrF和ArF步進器到EUV光刻的整個技術范圍。

堪稱完美

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即使對于大型零件(可達4.25米及更高),零度?的CTE 均勻性也非常出色。肖特通過先進的研磨和拋光使粗糙度低于幾納米,從而獲得非凡基材。

3. 肖特i-line玻璃

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肖特i-line玻璃是以代號為i的紫外汞譜線命名的光學玻璃類型,既可提供365納米紫外線高透射率,又可確保高折射率均勻性。這些玻璃(如N-BK7HTi、FK5HTi、LF5HTi 和LLF1HTi)既可以定制形狀也可以按客戶要求提供成品元件。

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i-Line玻璃通常適用于光刻應用,例如i-line步進機和晶圓掃描儀。

各行業領頭企業的信賴之選

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“由于肖特穩定的結構和規模,即使在充滿挑戰的時期,肖特也能承受市場波動,大量的資源允許我們對市場變化做出快速反應。正是因為可靠,肖特贏得了諸多行業內頭部企業的信賴。”                                       

—— Kevin Zhang,

肖特光學成像事業部

 

布局光刻機,德國肖特可為合作伙伴提供全方位的支持,從具體應用產品到可定制化的解決方案,肖特助力合作伙伴一同探索光刻機的奧秘,于分毫間雕刻未來。

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